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안녕하세요.
초순수중 극미량 SiO2 분석은 다음과 같은 이유로 인하여 매우 어렵고 까다로운 분석입니다.
1. 시료채취, 운반, 보관, 분석과정에서 오염
2. ICP-MS 또는 Colorimetric method 로 분석
따라서 오염을 방지하기 위하여 glass, quartz를 사용 또는 접촉되지 않아야 하기에, 모든 기구및 용기들은 teflon 재질을 사용하여야 하고, blank 오염을 확인하여야 합니다.
그리고 ICP-MS로도 Si는 1-10 ppb 분석이 불가능하기 때문에, 농축 또는 ultrasonic nebulizer를 이용하여야 합니다.
초순수에 포함된 Si 화합물이 100% SiO2가 아니기 때문에, Si 와 SiO2를 분리하여 분석할 수 있는 방법은 없습니다. Total Si 농도를 측정하는 방법입니다.
문의드립니다.
초순수중에 함유된 SiO2성분을 분석의뢰하고자 합니다.
Si와 SiO2의 분석은 각각 다르게 분석하시나요?
검출한계가 얼마정도까지 가능하신지요?
Sampling시 특이사항이 있나요?
사용하시는 계측기는 무엇인가요?
분석하시는 방법도 알고싶습니다.
부탁드립니다.
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