안녕하세요?
메탈실리콘 분석방법은 각회사마다 비슷하다고 생각됩니다.
한국규격에는 나와있지 않는것 같습니다.
Jounal of the Korea Chemical Society 1999, Vol.43,No 4
'실리콘 웨이퍼 중의 금속 불순물 분석을 위한 시료전처리'
위의 논문을 참고해보시기 바랍니다.
상세한 내용은 연락주시면 답변해드리겠습니다.
좋은 하루 보내시기 바랍니다.
---------------원본글입니다---------------
>>궁금한게 있어서 문의 드릴 려구요...
>>
>> 메탈 실리콘 분석을 하는 과정 중에서...각 회사 마다...전처리 및 분석 방법을
>>
>> 정해서 하는 것으로 알고 있는데요...
>>
>> 실리콘 ICP 분석 및 전처리 방법 중 한국산업 규격 방법이 있는건지?
>>
>> 아니면 한국규격 방법이 없이 진행을 하는 것인지 궁금합니다...^-^
>>
>> (찾아보니까 실리콘 원소를 직접 분석하는 것은 나와 있는데..
>>
>> 실리콘 내의 불순물을 분석하는 한국산업 규격 방법은 안나와 있더라구요~)
>>
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