Ir/Mn 전처리 방법

이름 : 함용남 | 작성일 : 2008.05.19 13:18 | 조회수 : 18021

안녕하십니까? IrMn/SiO2/Si wafer의 구조를 가지고 있는 박막 시료입니다. IrMn의 조성비를 구하려고 하는데, 잘 녹지않아서 고민 중입니다. 제가 처리한 방법은 Micriwave에서 HCl(10%), HF(0.1%)를 이용해서 녹이려고 했는데, 잔류물질이 남아있어 완전히 녹지 않는 것으로 생각됩니다. 원래 조성비는 Ir 80 : Mn 20 이었는데, 시료전처리후 용액을 측정한 결과 Ir 95: Mn 5정도로 나옵니다. 어떻게 해야 녹일 수있는지 알려주시면 고맙겠습니다.
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